엘에이티(311060 코넥스)가 "플라즈마 식각장치" 특허(제10-2019-0104405호)를 19일 취득했다고 공시했다.
플라즈마 장치의 내부에 균일한 유도결합 플라즈마를 발생시키기 위한 플라즈마 식각 장치에 관한 기술이다. 부채 형상으로 이루어진 안테나의 길이, 폭, 높이를 조절하여 유도결합 플라즈마를 균일하게 발생시켜 시료 크기에 상관없이 균일한 식각 및 증착이 가능한 장치다. "기존보다 큰 대면적 시료를 식각 또는 증착 할 수 있어 제품 경쟁력이 강화될 것"이라는 게 회사측 예상이다.
(주)엘에이티(대표 박강일)는 2014년 7월에 설립되어 반도체, 디스플레이, MEMS, 신재생에너지 분야에서 사용되는 진공 공정 장비, 모듈 및 검사 장비 및 제품 이송 장비를 개발ᆞ생산하는 회사이다. MEMS 소자 제작 및 OLED Open Mask용 In-line Sputter, OLED 패널 물류 이송을 위한 청정물류장치, 반도체 및 디스플레이 연구목적용 장비를 비롯해 곡면 합착기, 태양전지용 프린터를 개발하고 있다.
신규로 고속 인쇄용 태양전지 스크린 프린터 사업에도 진출했다. 산업통상자원부 국책과제 주관기업으로 2018년 10월부터 2021년 9월까지 결정질 실리콘 태양전지용 전극 인쇄용 고생산성 프린터 개발 과제를 수행하고 있다.
6월말 기준 자본금 14억2877만원, 자본총계 30억378만원이며, 부채총계는 92억1801만원이다. 반기매출액은 21억3308만원으로 6억5119만원의 영업손실과 6억7283만원의 순손실을 기록했다. 영업활동현금흐름은 14억9746만원이다.
21일 코넥스시장에서 엘에이티는 오전 11시 현재 전일 대비 14.71%(450원) 하락한 2,610원을 기록하고 있다. 시가총액은 66억6700만원이다.
주가 및 거래량 추이(단위:원,주)
